配有槽式浸泡和单片旋转喷淋结合，提高生产效率，降低生产成本；

高压或二流体喷淋可彻底除去光刻胶；

配去胶液回收、循环过滤再使用，降低用户成本，贵重金属回收；

基片干进湿传干出，机械手下方湿出浸泡槽，有漏液盘；

可针对药液循环过滤、起泡、残渣等定制设计，解决工艺制程问题；

可客制相应配置，混酸及供酸设备，支持多样化制程