高效节能：采用先进的结构设计及控制技术，可以大大降低能耗，节约运营成本。

稳定可靠：采用优质的材料和零部件，经过严格的测试和检验，可以长时间稳定运行，保证生产效率和质量。

操作简便：采用智能控制系统，操作简便，可以根据需要自动调节温度和制冷量，操作方便快捷。

温度范围：-70℃~250℃

控温精度： ±0.01℃~±0.1℃

制冷功率：200W~200kW

适用范围：Etch、Thin Film、离子注入等各种半导体设备