全面支持SECS/GEM通讯协议;
电镀：Cu、Ni、Sn/Ag、Au；
支持3个loadport；
支持扩展16个电镀腔体；
支持扩展4个预湿腔体，4个清洗腔体；
特殊的消泡机构，消除镀液气泡；
系统配备双System controller，无宕机风险;
支持电镀腔内搅拌功能，频率可调;
配备进口高精度直流脉冲电源;
支持模块化维护，提高设备正常运行时间；
阴阳极分离技术，更佳镀液稳定性。
