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晶圆再生片单片清洗设备 GMC-12RSC
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    设备特点：

    可适用于8寸或12寸晶圆清洗

    配有可设置温度氮气干燥

    多种药液高精度流量控制，温度控制

    可进行药液回收，增加药液利用率

    最多可配置8套清洗腔体

    可配置多种药液氢氟酸，臭氧水等


     

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