先进运输系统和专有算法的开发Throughput：400WPH

配有氮气雾化二流体清洗 

采用防静电管路，可调CO2 Generator电阻率

配有定制的软刷清洗扫描到边缘刷洗

晶圆翻转功能可进行背面与正面清洗

配置8套刷片清洗腔体，2套翻转机构