叠堆设计最高可配置12个腔室

上下层传送系统提供多达350wph的吞吐量

可配置可正背面清洗，药液种类多达5种，可回收2种药液

腔体可配备二流体雾化喷嘴

腔室可将化学飞溅降至最低，确保腔体清洁晶圆加工环境

腔体超洁净空气动态平衡均一性好