适用Thin film、Diff主设备供液需求

LCSS、TCSS、BCSS多种机型，可选配VMB，根据客户需求做定制化设计

设备具有EMO和电闸漏电保护，系统设计符合SEMI S2认证

配备degasser除氦气装置

设备使用文丘里装置，不需要额外增加pump，节省成本

机台自带加热带，用于配合文丘里装置purge管路

机台同时具备称重和液位检测

增加了PN2管路，用PN2代替氦气，用于purge，节省了大量成本