适用化学品有酸性,碱性,氧化性,有机溶剂,腐蚀性有机溶剂等等。
根据生产线规模的需求,有以下供应方式可以选择:
Lorry供液系统:一般用于化学品日用量非常大的系统(如半导体用的H2SO4/NH4OH/ H2SO4/TMAH/EBR)。
SUPPLY TANK供应系统:由CDM设备内配置的200L双Drum自动切换补液至Supply tank,再由Supply Tank供液至VMB;此系统一般应用在化学品日用量较大(日用量200L—1000L)的系统上。
N2氮压供应系统:由CDM设备内配置的200L双Drum自动切换补液至氮压 tank,再由氮压 Tank供液至VMB;此系统一般应用在化学品日用量较大(日用量200L—1000L),并且化学品比重粘度较大(如H2SO4/H3PO4)的系统上。
DRUM直供系统:一般应用在化学品日用量较小(日用量小于200L)的系统上。
混液稀释系统:一般用于需要多种化学品按比例混合或者浓度高的原液化学品需经过稀释后再供应到工艺设备(如半导体用的 HF100:1, TMAH2.38%, SC-1系统)。
独立的PLC以及独立的人机界面控制,可通过网络连接至上位机监控系统;BIM空管概念贯穿整个设计和施工过程。