产品配置
应用领域：
石英舟/管清洗机，可用于12英寸及以下尺寸的扩散、外延等设备的石英舟/管、碳化硅管的清洗/金属或石英parts(ETCH、DIFF、CVD、CMP等)、Coater cup等备件
炉管工艺流程：
LOAD - HF/HNO3 - QDR -  UNLOAD
Parts清洗工艺流程：
LOAD - Ultrasonic/ organic solution/inorganic solution-  UNLOAD
设备配置：

工艺过程全自动搬运

槽内设置炉管自旋转功能

自动配液，补液，换酸

流量，浓度，压力，可控可调

全工艺段监控及传感器安全互锁

可根据客户要求定制

可兼容清洗石英parts、舟、桨等

Recipe可编辑，每组可单独设定工艺时间