产品配置
应用领域：
应用于石英舟/管清洗机，可用于12英寸及以下尺寸的扩散、外延等设备的石英舟/管、碳化硅管的清洗/金属或石英parts(ETCH、DIFF、CVD、CMP等)、Coater cup等备件
炉管工艺流程：
LOAD - HF/HNO3 - QDR -  UNLOAD
Parts清洗工艺流程：
LOAD - Ultrasonic/ organic solution/inorganic solution-  UNLOAD
设备配置：

工艺全程全自动搬运，无人化作业

槽内炉管自旋转设计，提升工艺均匀性

配液 / 补液 / 换酸全自动化，减少人工干预

流量 / 浓度 / 压力多参数精准可控可调

全工艺段监控 + 传感器安全互锁，全程防护

支持客户个性化定制，适配多元需求

兼容石英件、舟、桨等多类产品清洗

Recipe 可编辑，单组工艺时间独立设定