原液单元： Drum200L*2ea(兼容20L)
混液单元：60/80/100/110L规格数量可选（特殊规格可定制）
供应模式：磁浮泵变频控制
供应流量：≥15LPM（超出请咨询）
供应点位：≦5个供应点位
Tank 360°自动旋转清洗功能
Tank N2保湿功能，湿度≥95%
可调节定容式H2O2加料功能，浓度范围0.3%-5%（±0.005%）
H2O2浓度滴定功能（选配）
原液单元： Drum200L*2/4/8ea(数量选配)
混液单元：250L/500L规格数量可选（特殊规格可定制）
供应模式：磁浮泵变频控制
供应流量：≥30LPM（可定制化设计）
供应点位：≦20个供应点位（超出请咨询）
Slurry品质检测功能（密度/PH/电导率）
可选Slurry颗粒及粒径检测功能（LPC/MPS）
H2O2浓度滴定功能
H2O2浓度在线监控功能
Supply PCW温控功能（Supply Main LOOP 24±2°C）
Tank 360°自动旋转清洗功能
Tank N2保湿功能，湿度≥95%
可调节定容式H2O2加料功能，浓度范围0.3%-5%（±0.005%）
Slurry H2O2浓度品在线检测功能（选配）
